净化装备_净化技术与设备的发展应用趋势

净化技术又称为生产环境和污染控制技术，是近二、三十年来随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术。

净化设备在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到广泛应用。

对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。

我国在“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求，用水纯化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎，净化工程技术已开始进入千家万户，进入人们的现代生活。 　　

我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比差距是明显的，我国1965年才开始生产的HEPA过滤器，比国外晚了十五年。1975年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二十年。0．1微米洁净技术和设备在国际上先进国家已成为成熟技术，我国则刚刚起步。 　

洁净技术和装备的国际市场十分巨大，日本到80年代末、90年代初洁净技术和设备的销售额已突破35亿美元。美国和西欧等先进国家洁净设备和基础部件的销售额已达73亿美元。

据中国电子专用设备工业协会统计，我国主要八家最大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元，还不足1亿，1993年达到14495万元，占国际市场销售额的0．34％。

但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年40％~50％的增长速度在增加。

在超纯水纯化处理技术和设备方面，美国处于领先地位，日本、英国和德国也在世界市场上达到一定水平和规模。反渗透器中空纤维式产品以美国DUPONT公司最著名，生产卷式反渗透器主要有美国UOP公司，日本东丽公司和美国GVLFENVIROMENT SYSTEM公司。

脱盐率一般均能达到95％以上。目的我国生产的反渗透器脱盐率只能达到85％左右。超滤材料和超滤装置无论是醋酸纤维素、聚啮等，还是分管式、中空或卷式，国外都有商品化的成套超滤设备供应，如美国VAPONICS公司供应的带有自动化学清洗的超滤装置。

我国还处于起步阶段。总体来讲我国纯水处理技术和设备与微电子工业等一大批高新技术产业的发展需求差距还很大。1993年全国纯水设备制造行业销售额约为1亿元，约占国际市场的5％。 　　 　　

超纯水设备在我国具有广泛而又巨大的市场前景，出水水质达到美国ASTM—E1级纯水标准可以在众多技术中应用，目前我国生产的超纯水设备和系统已在上海大众、北京切诺基、一汽奥迪、二汽富康等众多汽车行业中得到广泛应用。

在水处理工艺中增加超滤、杀菌和臭氧处理后，已在制药、生物制品、化妆品行业得到广泛应用。广东健力宝、杭州娃哈哈等我国著名饮料品牌也均采用了我国生产的超纯水设备和系统。 　　

八五,九五期间我国紧紧跟踪国际上高纯气体制造技术和设备的发展，采用膜分离法制氮、制氢、和富氧，推出了第二代膜分离制氮装置，每小时产氮能力200m3，组合装置可达到1400m3／h，氮气纯度可达到99．9％以上。

同时广泛采用变压吸附(PSA)技术制氢、制氧和制氮，采用真空变压吸附(VPSA)技术生产纯度为99．95％的氮气和99. 5％的氧气。

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